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一、萬級(jí)潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)(按塵粒數(shù)目和微生物數(shù)目來定義的):

1.塵粒允許數(shù)(每立方米):大于或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過350000個(gè)；大于或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2000個(gè)。

  2.微生物允許數(shù):浮游菌數(shù)每立方米不得超過100個(gè)；沉降菌數(shù)每培養(yǎng)皿不得超過3個(gè)。

二、萬級(jí)潔凈室主要檢測標(biāo)準(zhǔn)包括：

1.氣流速度及其均勻度檢測。這項(xiàng)檢測是無塵室效果的其他各項(xiàng)檢測的前提，這項(xiàng)檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

2.系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。

3.室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測。

4.自凈時(shí)間的檢測。通過確定自凈時(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

5.氣流流型檢測。

6.噪聲的檢測。

7.照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8.振動(dòng)的檢測。振動(dòng)檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動(dòng)幅度。

9.溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度，檢測無塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測回風(fēng)溫度。

10.總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。

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